Agilent / HP 4156C Semiconductor Parameter Analyzer（半導體參數分析儀） 為半導體元件 I-V 特性量測、可靠度測試與製程參數萃取的主力設備，適用於 MOSFET / TFT / Diode / BJT / Power Device 等元件分析，支援 超低電流漏電量測、脈衝量測、On-wafer reliability 等進階功能。

內建通道與量測架構

• 內建 4 組高解析 Source/Monitor Unit（HRSMU）
  Four built-in high-resolution source/monitor units (HRSMU)

• 內建 2 組 Voltage Source Unit（VSU）

• 內建 2 組 Voltage Monitor Unit（VMU）

超高解析度量測能力

• 量測解析度：1 fA / 0.2 µV
  Measurement resolution: 1 fA and 0.2 µV

• 可進行 超低漏電（ultra-low leakage） 元件特性量測
  Measures leakage characteristics with ultra-low leakage SMUs

Kelvin / Guard 設計（低漏電量測）

• Full Kelvin 架構：每個 HRSMU 具備 Force / Sense / Guard terminals
  Full Kelvin: force, sense, and guard terminals for each HRSMU
  → 有效降低漏電與雜訊，提升低電流/高阻抗元件量測準確度

QSCV / C-V related capability

• 支援 Quasi-Static Capacitance vs Voltage（QSCV）
  Performs quasi-static capacitance measurements versus voltage measurements
  → 適用於氧化層、介電層與半導體結構的電性分析（工藝驗證常用）

自動參數萃取 / 製程參數分析

• 可自動萃取 Process Parameters
  Automatically extracts process parameters without manually manipulating screen markers
  → 減少人工拉 marker 誤差，提高量測效率

脈衝量測與自動化特性分析

• 內建 Pulse Generators + Selector Switches
  Automates device characterization with integrated pulse generators and selector switches
  → 可進行脈衝 I-V 量測、降低 self-heating 影響（功率元件/高速元件常用）

Reliability / Stress 測試（On-wafer）

• 內建 Stressing modes 支援晶圓級可靠度測試
  On-wafer reliability tests with built-in stressing modes

• 支援 Stress Mode / Stand-by function（可靠度試驗常用）

量測操作與資料分析

• Point-and-click GUI 圖形化介面操作
  Point-and-click measurements with graphical user interface

• Windows 環境圖形化分析
  Provides graphical data analysis capabilities with a Windows environment

• 內建功能：QSCV / Stress Mode / Knob-sweep / Stand-by

• Triggering modes 支援同步 AC/DC 量測
  Triggering modes allow synchronized AC/DC measurements

• IBASIC user functions 可自動化量測、資料繪圖分析
  IBASIC user functions allow data to be plotted and analyzed